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MIME 570 Micro- and Nano-Fabrication Fundamentals (3 unit茅s)

Offert par : G茅nie des mines et des mat茅riaux (G茅nie et l'architecture)

Vue d'ensemble

G茅nie des mines et des mat茅riaux : Fundamentals of micro- and nano-fabrication technologies. Lithographic, etching, deposition, and implantation and various control parameters of these processes and their resulting effects on structure, materials quality, and conformality.

Trimestres : Ce cours n鈥檈st pas au programme de l鈥檃nn茅e universitaire 2015-2016.

Charg茅s de cours : Aucun professeur n鈥檈st associ茅 脿 ce cours pour l鈥檃nn茅e universitaire 2015-2016.

  • (3-0-6)

  • Prerequisite: MIME 467 or ECSE 330 or equivalent, or permission of instructor

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